高端裝備制造
一種可制備復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的納米壓印裝置
一種可制備復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的納米壓印裝置，首先放卷輥放出襯底，涂膠輥將光刻膠涂在襯底上，將襯底傳送到壓印裝置下方，加熱輥將光刻膠加熱到玻璃化溫度，壓印輥一進(jìn)行壓印，然后固化，之后通過(guò)刻蝕裝置清除殘余層，襯底再次回到壓印裝置下方，再進(jìn)行加熱，旋轉(zhuǎn)盤將壓印輥二轉(zhuǎn)至第一次壓印后的光刻膠上方，壓印輥二進(jìn)行壓印，壓印輥二壓印完成后,重復(fù)以上步驟至壓印輥三壓印完成后，再將得到的復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的襯底通過(guò)收卷輥收集起來(lái)。本發(fā)明通過(guò)多輥壓印制備復(fù)雜微結(jié)構(gòu)，能夠在較低成本下快速有效的制備復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)，方法簡(jiǎn)單，裝置及加工實(shí)現(xiàn)成本相對(duì)較低，且制備圖案精度較高，減少了誤差，避免了對(duì)襯底上圖案和模板損傷及更換模板成本問(wèn)題。
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
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