專利名稱 一種可制備復雜微結(jié)構(gòu)的納米壓印裝置
申請?zhí)?專利號 CN201810020867.1 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長春工業(yè)大學
申請日 2018-01-10 授權(quán)日 2024-05-28
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 高端裝備制造
技術(shù)主題 玻璃轉(zhuǎn)化溫度|化學|微觀結(jié)構(gòu)|納米結(jié)構(gòu)|光刻膠|壓印|物理學
應用領(lǐng)域 光機械設(shè)備
意向價格 具體面議
專利概述 一種可制備復雜微結(jié)構(gòu)的納米壓印裝置，首先放卷輥放出襯底，涂膠輥將光刻膠涂在襯底上，將襯底傳送到壓印裝置下方，加熱輥將光刻膠加熱到玻璃化溫度，壓印輥一進行壓印，然后固化，之后通過刻蝕裝置清除殘余層，襯底再次回到壓印裝置下方，再進行加熱，旋轉(zhuǎn)盤將壓印輥二轉(zhuǎn)至第一次壓印后的光刻膠上方，壓印輥二進行壓印，壓印輥二壓印完成后,重復以上步驟至壓印輥三壓印完成后，再將得到的復雜微結(jié)構(gòu)的襯底通過收卷輥收集起來。本發(fā)明通過多輥壓印制備復雜微結(jié)構(gòu)，能夠在較低成本下快速有效的制備復雜微納結(jié)構(gòu)，方法簡單，裝置及加工實現(xiàn)成本相對較低，且制備圖案精度較高，減少了誤差，避免了對襯底上圖案和模板損傷及更換模板成本問題。
圖片資料 一種可制備復雜微結(jié)構(gòu)的納米壓印裝置
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281