高端裝備制造
J型結(jié)構(gòu)精密壓電粘滑直線馬達(dá)及其驅(qū)動(dòng)方法
一種J型結(jié)構(gòu)精密壓電粘滑直線馬達(dá)及其驅(qū)動(dòng)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線馬達(dá)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的輸出機(jī)械性能受限等問(wèn)題。本發(fā)明由固定基座、預(yù)壓力加載機(jī)構(gòu)、J型結(jié)構(gòu)定子和動(dòng)子四部分組成，所述定子采用J型鉸鏈機(jī)構(gòu)使得定子沿軸向剛度分布不均勻，激發(fā)定子驅(qū)動(dòng)端產(chǎn)生側(cè)向位移，增大摩擦驅(qū)動(dòng)力，減小摩擦阻力；同時(shí)將摩擦調(diào)控波復(fù)合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，從而降低快速變形階段定、動(dòng)子間摩擦阻力，實(shí)現(xiàn)對(duì)摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線馬達(dá)機(jī)械輸出特性。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高、行程大等特點(diǎn)，在航空航天、光學(xué)精密儀器和半導(dǎo)體加工等微納精密驅(qū)動(dòng)與定位領(lǐng)域中具有很好的應(yīng)用前景。
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
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