專利名稱 一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)
申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào) CN201510621673.3 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
申請(qǐng)日 2015-09-27 授權(quán)日 2017-07-21
專利類(lèi)別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類(lèi) 高端裝備制造
技術(shù)主題 高頻波|橢圓運(yùn)動(dòng)|鉸鏈角度|工程學(xué)|光子|超精密|橢圓|聚合|運(yùn)動(dòng)參數(shù)|電|高頻
應(yīng)用領(lǐng)域 照相制版工藝曝光裝置|微光刻曝光設(shè)備
意向價(jià)格 具體面議
專利概述 本發(fā)明涉及一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)，屬于超精密加工領(lǐng)域。由X向、Y向、Z向三個(gè)壓電疊堆驅(qū)動(dòng)具有柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z三個(gè)方向的微動(dòng)，三個(gè)壓電疊堆分別由預(yù)緊螺釘進(jìn)行預(yù)緊，工作臺(tái)的各個(gè)方向由單獨(dú)的壓電疊堆驅(qū)動(dòng)，避免了其他方向運(yùn)動(dòng)對(duì)該驅(qū)動(dòng)方向的擾動(dòng)；對(duì)三個(gè)壓電疊堆通以頻率相同而相位差不為零的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，可以實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)在空間的二維橢圓運(yùn)動(dòng)或三維橢圓運(yùn)動(dòng)，通過(guò)控制橢圓運(yùn)動(dòng)參數(shù)，可調(diào)整橢圓的方位和大小，工作臺(tái)X向、Y向的柔性鉸鏈采用直梁式鉸鏈?zhǔn)孜蚕噙B組合而成；本發(fā)明涉及的工作臺(tái)加工簡(jiǎn)單，體積較小且有較好的載物空間，可實(shí)現(xiàn)高頻、連續(xù)的三維橢圓運(yùn)動(dòng)。
圖片資料 一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281