| 專(zhuān)利概述 |
本發(fā)明涉及一種運(yùn)動(dòng)工件飛秒激光加工中橢圓運(yùn)動(dòng)曝光方法及系統(tǒng)，屬于飛秒激光加工技術(shù)領(lǐng)域。橢圓運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)安裝運(yùn)動(dòng)臺(tái)之上，在三維橢圓運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)下，待加工件相對(duì)于沿X和Y向進(jìn)給的運(yùn)動(dòng)臺(tái)以平動(dòng)的方式作高頻三維橢圓運(yùn)動(dòng)，通過(guò)調(diào)整橢圓運(yùn)動(dòng)頻率和幅值，使待加工件中預(yù)期曝光位置p的瞬時(shí)速度沿X和Y向的投影分量和在橢圓的上頂點(diǎn)或下頂點(diǎn)處分別與運(yùn)動(dòng)臺(tái)沿X和Y向的進(jìn)給速度大小相等、方向相反，從而使得激光束相對(duì)于運(yùn)動(dòng)工件獲得具有足夠光通量的擬靜態(tài)駐留；通過(guò)改變橢圓運(yùn)動(dòng)幅值可以調(diào)整相鄰兩個(gè)曝光位置的距離。所述方法及系統(tǒng)在飛秒激光加工中易于實(shí)施，可以在工件作快速進(jìn)給的過(guò)程中對(duì)工件中預(yù)期曝光的位置進(jìn)行高效曝光。 |
