| 專利概述 |
一種二維輔助振動(dòng)的壓印裝置，其包括工作臺(tái)、XY軸位移臺(tái)、Z軸位移臺(tái)、二維微動(dòng)平臺(tái)、壓印裝置、加熱板。涂膠后的襯底置于二維微動(dòng)平臺(tái)上，XY軸位移臺(tái)將二維微動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到模板下方，加熱板對(duì)光刻膠進(jìn)行預(yù)熱，光刻膠未達(dá)到玻璃化溫度，預(yù)熱完成后，啟動(dòng)二維微動(dòng)平臺(tái)并帶動(dòng)襯底實(shí)現(xiàn)二維振動(dòng)，Z軸位移臺(tái)控制壓印裝置對(duì)襯底進(jìn)行壓印，壓印完成后在空氣中冷卻固化，最后進(jìn)行振動(dòng)輔助脫模，本實(shí)用新型采用二維微動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)襯底實(shí)現(xiàn)壓印時(shí)X軸、Y軸振動(dòng)，使壓印過程產(chǎn)生剪切變形進(jìn)而使光刻膠非彈性變形或流動(dòng)，提高模板空腔的填充率，增強(qiáng)壓印圖案的保真度，提高壓印效率，降低脫模時(shí)的粘附力，對(duì)大尺寸特征以及高縱寬比的微結(jié)構(gòu)壓印成型十分有利。 |
